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피라니 센서 TPR280
저진공 게이지측정 원리: 가스의 열전도율
압력 범위: 초기 진공 ~ 저진공
정확도 요구 사항: 낮음 ~ 중간
(1 · 103 ~ 1 · 10-4 hPa)
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피라니 센서 APG200
저진공 게이지360° LED 조명 링 압력 표시기
컴팩트한 크기
긴 필라멘트
내장형 필터(필터가 없는 버전)
휴대용 디스플레이
(1 · 103 ~ 5 · 10-4 hPa)
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피에조 + 피라니RPT200정확도가 좋은 저진공 게이지피에조(Piezo) 센서와 피라니(Pirani) 센서를 통합한 복합형 진공 게이지
±0.3% 풀스케일의 높은 정확도
(40 ~ 1200 hPa)
±10%의 측정 정확도
(2 × 10⁻³ ~ 40 hPa)
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Linear Convection Gauge
저진공 게이지측정범위 : 대기압 ~저진공
피라니 센서 보다 정확도 우수
정확도±15% (전체 측정 범위에 걸쳐 유지)
( 1333 ~ 3×10⁻⁴ mbar )
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피라니 + 냉음극
(Edwards Vacuum)
Full range gauge측정범위 : 대기압 ~ 초고진공
360° LED 조명 링 압력 표시기
(1E-9 – 1E3 hPa )
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피라니 + B-A열음극
Full range gaugePirani + Bayard-Alpert 이온 게이지
측정범위: 대기압 ~ 초고진공
(5E-10 – 1E3 hPa )
1. CCT (Capacitance Ceramic Transmitter)
측정 원리: 정전용량 방식 + 세라믹 멤브레인
특징:
세라믹 멤브레인을 사용하여 내화학성이 뛰어남
우수한 장기 안정성 제공
부식성 또는 화학적으로 공격적인 환경에 적합
적용 분야:
반도체 제조 공정
부식성 가스를 사용하는 공정
2. CMR (Capacitance Metal Reference)
측정 원리: 정전용량 방식 + 메탈 멤브레인 + 레퍼런스 셀
특징:
금속 멤브레인 사용, 진공 기준 셀(Reference cell) 내장으로 Zero 포인트 장기 안정성 우수
환경 변화에 따른 드리프트가 적음
고정밀 저압 측정에 적합한 모델
적용 분야:
연구 및 개발 분야
고정밀 진공 측정이 필요한 환경
반도체 및 디스플레이 등 하이테크 제조 공정
3. CCR (Capacitance Ceramic Reference)
측정 원리: 정전용량 방식 + 세라믹 멤브레인 + 진공 레퍼런스 셀
특징:
세라믹 멤브레인과 진공 기준 셀 조합으로 내화학성과 장기 안정성 동시에 제공
특히 부식성 환경에서도 고정밀 장기 안정성 유지
적용 분야:
화학적 공격성 가스를 사용하는 고정밀 공정
내화학성이 요구되는 고진공 및 초고진공 시스템
고순도 가스를 사용하는 공정 및 연구실
4. CLR (Capacitance Low Range)
측정 원리: 정전용량 방식 + 초저압 특화 멤브레인 설계
특징:
매우 낮은 압력 범위 (초고진공) 전용
초저압 범위에서 고정밀 측정 가능
고도의 진공 환경에서 탁월한 성능 제공
적용 분야:
초고진공(UHV) 환경
입자 가속기, 진공 증착 장비 등 매우 낮은 압력 범위에서 측정 요구되는 분야
📝 제품 선택 시 고려할 사항:
사용 환경 (부식성, 공격성 가스 여부)
측정 요구 범위 (초고진공 또는 저진공 범위 등)
장기적인 안정성과 유지보수의 용이성 요구 수준
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Capacitive CCR 36X, CCR 37X정확도가 매우 높음
- CCR36X: ±0.2%의 정확도
- CCR37X: ±0.15% 정확도
측정 원리 : 전극 간 정전 용량 변화 + 세라믹 맴브레인
측정 범위 1000torr gauge 1333~0.133 hPa
100torr gauge 133~0.0133hPa
10torr gauge 13~0.00133hPa
1torr gauge 1.3~0.000133hPa
0.1torr gauge 0.13~0.0000133hPa
- CCR36X: ±0.2%의 정확도
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Capacitive CCT36X, CCT37X정확도가 매우 높음
- CCR36X: ±0.2%의 정확도
- CCR37X: ±0.15% 정확도
측정 원리 : 전극 간 정전 용량 변화 + 세라믹 맴브레인측정 범위
1000torr gauge 1333~0.133 hPa
100torr gauge 133~0.0133hPa
10torr gauge 13~0.00133hPa
1torr gauge 1.3~0.000133hPa
0.1torr gauge 0.13~0.0000133hPa
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Caoacitive CMR 36X- 측정 원리: 정전용량 방식 + 메탈 멤브레인 + 레퍼런스 셀
- 정확도 : 측정값의 0.2%
특징:
- 금속 멤브레인 사용, 진공 기준 셀(Reference cell) 내장으로 Zero 포인트 장기 안정성 우수
- 환경 변화에 따른 드리프트가 적음
- 고정밀 저압 측정에 적합한 모델
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ASG2가스 종류에 관계없이 안정적이며 신뢰할 수 있는 압력 측정
내식 소재(스테인리스 스틸 316L, Hastelloy C276)
압력 범위: 1000 mbar ~ 1 mbar 또는 2000 mbar ~ 1 mbar까지 선택 가능.
DC 전원(12~32 V)을 사용하는 범용성 높은 전원 공급 방식.
표준 아날로그 출력(0~10 V DC)을 제공하여 PLC 및 컴퓨터와 간편하게 연결 가능.
- 정확도: ±0.2% (Full Scale)
- 장기 안정성: 0.1% (Full Scale)
- 정확도: ±0.2% (Full Scale)
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Capaciance Diaphragm Gauge
Barocel- Barocel 7025m
- 압력 범위 (FS, mbar) 1000,100,10
- 정확도 (% of reading) 1%
- 경제적인 비용으로 소형화된 모델
- 우수한 제로 안정성
- Barocel 7025
- 압력 범위 (FS, mbar) 1000~0.1
- 정확도 (% of reading) 0.15~0.5%
- 높은 재현성과 성능, 다중 내부 보호 기능 (Baffle, 코팅, Shielding)
- 방향과 무관한 장착 가능
- Barocel 7045 & 7100 (온도 제어형)
- 압력 범위 (FS, mbar) 1000~0.1
- 정확도 (% of reading) 0.2% (0.4%)
- 내부 히터 장착으로 고정 온도(45°C 또는 100°C) 유지
- 응축이 발생할 수 있는 환경에서 뛰어난 성능 발휘