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Capaciance Diaphragm Gauge
Barocel

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🔹 주요 장점 및 특이사항

뛰어난 정확도 및 안정성

뛰어난 제로(Zero) 안정성 및 높은 정확도 제공

설치 후 추가 유지보수 필요 없음 (Zero maintenance)

다양한 온도 옵션 제공

상온 모델과 온도 제어형(Heated) 모델(45°C 및 100°C) 선택 가능

가혹한 공정 가스 환경에서도 안정적인 측정 가능 (응축 방지)

유연한 시스템 통합 및 간편한 관리

다양한 Full-scale 범위 (1000 ~ 0.1 mbar/torr) 제공

간편한 시스템 장착과 다양한 플랜지 옵션 제공

Dual set point 내장으로 뛰어난 시스템 컨트롤 제공 가능

낮은 운영 비용

유지보수가 필요 없는 설계로 장기적인 운영 비용 절감 가능

적용 분야

반도체 (Load lock, PVD, CVD, Etch)

고에너지 물리학 (빔 라인, 가속기, 의료 시스템)

분석 장비 (질량 분석기, 전자 현미경)

품질 관리 및 제어

산업 (코팅 시스템, 가열로, 멸균, 식품 가공)


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