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CCR (Capacitance Ceramic Reference)
측정 원리: 정전용량 방식 + 세라믹 멤브레인 + 진공 레퍼런스 셀
특징:
세라믹 멤브레인과 진공 기준 셀 조합으로 내화학성과 장기 안정성 동시에 제공
특히 부식성 환경에서도 고정밀 장기 안정성 유지
적용 분야:
화학적 공격성 가스를 사용하는 고정밀 공정
내화학성이 요구되는 고진공 및 초고진공 시스템
고순도 가스를 사용하는 공정 및 연구실