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CMR (Capacitance Metal Reference)

측정 원리: 정전용량 방식 + 메탈 멤브레인 + 레퍼런스 셀

특징:

금속 멤브레인 사용, 진공 기준 셀(Reference cell) 내장으로 Zero 포인트 장기 안정성 우수

환경 변화에 따른 드리프트가 적음

고정밀 저압 측정에 적합한 모델

적용 분야:

연구 및 개발 분야

고정밀 진공 측정이 필요한 환경

반도체 및 디스플레이 등 하이테크 제조 공정