Turbo Pump
터보펌프 선정 고려사항
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터보 펌프 선정 시 고려사항펌프 용량(Capacity & Pumping Speed)
챔버 부피 및 공정 가스 유량
목표 최종 진공도 (e.g. 10⁻⁵, 10⁻⁷ Torr)
플랜지 타입(Flange Type) 및 장착 방향
공정 가스 특성 (Corrosive, Reactive, Condensable)
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터보 펌프 작동 원리터보분자 펌프는 운동진공 펌프의(kinetic vacuum pumps ) 카테고리에 속합니다. 이 펌프의 설계는 터빈 의 설계와 유사합니다. 블레이드가 있는 디스크가 있고 터빈 같은 다단계 로터가 하우징 안에서 회전합니다. 터빈 또는 압 축기의 블레이드는 총괄하여 블레이딩이라 불립니다. 유사 한 기하학을 가진 블레이드 고정자 디스크들이 로터 디스크 사이에 마주 보는 거울처럼 포개져 있습니다. 터보분자 펌프 작동 원리 로터와 회전자 블레이드로 구성된 ... -
터보 펌프 성능 데이터기체 부하
기체 부하 , qpV=S⋅p=dtdV⋅p(공식 1-16),는 터보분자 펌프로 변위될 수 있으므로 일정한 체적 유량율 범위의 압력에 비례하여 증가합니다. 펌프 속도 곡선의 감소 부분에서는 최대 변위 기체 부하가 계속 증가할 수 있지만 배 압 펌프의 크기에 따라 온도 상승 제한에 도달합니다. 최대 허용 가능 기체 부하 역시 펌프 온도(냉각 및/도는 가열 펌프) 와 해당 기체 유형에 따라 달라집니다. 무거운 주요 기체의 변위는 문제가 있습니다. 왜냐하면 이 기체들은 로터와 접촉 할 때 굉장히 많은 양의 소멸된 에너지를 생성하고 그들의 낮 은 특정 열 때문에 그 중 오직 소량만 하우징으로 소멸될 수 있기 때문입니다.